纽曼泰克模块式制氮机成功助力国产半导体芯片企业发展

某广东半导体芯片制造企业，拥有多条芯片生产线，配套返工处理工艺，以碳化硅外延材料为原料，通过刻号、扩散热氧、光刻、刻蚀、去胶、清洗、离子植入、扩散、薄膜增膜（CVD）等工序，生产所需芯片。

01 客户需求

客户用高纯氮气主要集中在光刻、刻蚀，CVD等工艺，作为保护气体，起到了防止污染，氧化反应，提高工艺的稳定性和精度。所以客户提出的氮气纯度需求为≥99.999%，压力露点≤-60℃。原先使用的某进口制氮机产品，存在采购成本高昂，货期较长(8个月)，服务不及时，备件成本高等问题，急需同等性能产品替代。

02 解决方案

客户原先已是纽曼泰克的忠实用户，空压机房使用的就是纽曼泰克吸附式干燥机，对纽曼泰克产品的低露点，高可靠性等优势印象深刻。在得知纽曼泰克已将欧洲制氮机产品本地化生产之后，根据其生产实际氮气需求，选择了纽曼泰克冷干机+鼓风热吸附式干燥机（-60℃压力露点）+模块式制氮机PPNG HE+配套过滤器等全套纽曼泰克产品，最终氮气纯度达到99.9995%，空氮比低至5.57，设备调试一次即达标。

03 客户反馈

客户在使用纽曼泰克模块式制氮机后，表示性能完全满足他们要求，并且我们在性价比，货期，服务及时性等方面是之前用的进口产品所不能比拟的，对纽曼泰克品牌表示了认可。

纽曼泰克作为压缩空气后处理领域专业供应商，凭借58年的气体净化知识和制造经验的深厚积累，以及持续不断的创新能力，紧跟客户需求，通过不断提高技术实力和升级产品来满足客户的多样性需求。在国家大力发展自主半导体产业链的背景下，纽曼泰克将持续为客户提供助力，与国内芯片企业共同成长。